Төмен температуралы плазманы генерациялау үшін тұрақты және айнымалы токтағы доғалық разряд, сондай-ақ жоғары жиілікті разряд кеңінен қолданылады. Салыстырмалы түрде тұрақты токтағы солғын разряд және барьерлік разряд сирек қолданылады. Импульстік разряд көмегімен, соққылы трубалар немесе оптикалық кванттық генераторлардың көмегімен плазма алу әдістері, мұндай плазма аз уақытқа ғана пайда болатындықтан (10-5-нен 10-1 с дейін), технологиялық процесстерді ұйымдастыруға ыңғайсыз болып табылады.
Төмен температуралы плазманы генерациялау үшін тұрақты және айнымалы токтағы доғалық разряд, сондай-ақ жоғары жиілікті разряд кеңінен қолданылады. Салыстырмалы түрде тұрақты токтағы солғын разряд және барьерлік разряд сирек қолданылады. Импульстік разряд көмегімен, соққылы трубалар немесе оптикалық кванттық генераторлардың көмегімен плазма алу әдістері, мұндай плазма аз уақытқа ғана пайда болатындықтан (10-5-нен 10-1 с дейін), технологиялық процесстерді ұйымдастыруға ыңғайсыз болып табылады.
Доғалық разряд басқаларынан салыстырмалы жоғары токпен (ондаған және жүздеген ампер) және салыстырмалы төмен кернеумен (ондаған және жүздеген вольт) ерекшеленеді. Разряд атмосфералық қысымда да, жоғарылатылған қысымда да пайда бола алады.
Электродтардың тұрақты ауданында токтың өсуімен бірге белгілі бір мәнге дейін ток тығыздығы да өседі, одан кейін тұрақты ток тығыздығында доға қимасы өседі.
Егер доғаның көлденең еркін дамуын шектейтін болсақ, мысалы, электродтар өлшемін өзгертіп, доғаны газ немесе сұйықтық ағынымен үрлеп, оны тар арнаға орналастырсақ, онда доғаның ток тығыздығын арттыруға болады, сәйкесінше температурасын арттыруға болады. Мұндай доға сығылған деп аталады. Сығылған доға температурасы келесі теңдікпен анықталады
T = 1040Ui+37I8/19/R12/19,
мұндағы R – бағана радиусы мм. өлшемінде.
Катод және анод маңындағы бөлінген қуат негізінен электродтарға беріледі және жылулық шығындар болып табылады. Доғалық разряд энергиясын қолдану дәрежесін көтеру үшін плазмахимиялық процесстерде доға кернеуін жоғарылатуға және тогын төмендетуге ұмтылады. Сонымен бірге электродтарға берілетін доға қуатының бөлігі азаяды, сонымен қатар электродтардың тозуы азаяды.
