Тлеющий разряд
жүктеу/скачать 0,69 Mb. Pdf көрінісі
|
Bolbukov-avtoreferat FIN(1)
| В заключении
анализируются основные результаты работы. ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ РАБОТЫ 1. Показано, что плотность потока из полого катода тлеющего разряда через отри- цательную по отношению к нему сетку распыляемых ионами аргона атомов материала катода, сопровождаемых до изделия быстрыми атомами газа, и скорость их осаждения на изделии возрастают с увеличением катодного падения потенциала и тока разряда, а с ростом энергии быстрых атомов аргона скорость осаждения снижается до нуля при энергии свыше 0,5 кэВ. 2. Доказано, что однородный поток через эмиссионную сетку атомов металла на сравнимом с ее диаметром расстоянии становится из-за их большого углового разброса неоднородным. Перекрытие потока атомов металла через центр сетки обеспечивает вы- сокую однородность толщины покрытия на неподвижной подложке с диаметром, соиз- меримым с диаметром сетки, при сохранении однородности бомбардировки осаждаемо- го покрытия быстрыми атомами и его высокой адгезии. 3. Показано, что при использовании бипотенциального полого катода с изолиро- ванным дном в качестве мишени и подаче на него отрицательного напряжения до не- скольких киловольт скорость распыления при том же токе в цепи мишени на порядок 16 выше, чем в магнетронном разряде с напряжением в сотни вольт, а неоднородность рас- пыления ее поверхности не превышает 15%. 4. Установлено, что в неоднородном магнитном поле с магнитными линиями, про- ходящими через центральную зону мишени и пересекающими сетку, катод и частично периферию мишени, доля ионов, поступающих из плазмы на мишень, при магнитной индукции на границе мишени B o = 1 мТл повышается от 12 до 25%, а при B o = 1 мТл – до 56%, при сохранении однородности распыления 85% поверхности мишени и потоке распыленных атомов на подложку, на порядок превышающем поток быстрых молекул газа. жүктеу/скачать 0,69 Mb. Достарыңызбен бөлісу:
|